
化成品事業
開発品:低誘電損失セラミックス用アルミナ
開発品
低誘電損失セラミックス用アルミナ
日本軽金属が製造する低ソーダアルミナは、ソーダ成分を中心とした不純物制御と粒度設計により、低誘電損失と安定した電気絶縁性を追求した材料です。化学的安定性、機械的強度、耐熱性にも優れ、厳しい使用環境に対応します。
半導体製造装置部材、電子部品、各種機械部品に加え、高周波・プラズマ環境下で使用される絶縁部材に適しています。
代表値
| 品名 | LS-500B | LS-530B | |
|---|---|---|---|
| Na2O | % | 0.01 | 0.01 |
| SiO2 | % | 0.02 | 0.02 |
| Fe2O3 | % | 0.02 | 0.02 |
| Al2O3 | % | 99.9 | 99.9 |
| BET比表面積 | m2/g | 6.0 | 4.1 |
| 平均粒径 | μm | 0.6 | 1.3 |
| 成形密度* | g/cm3 | 2.19 | 2.33 |
| 見掛密度* | g/cm3 | 3.91 | 3.80 |
| 焼結かさ密度* | g/cm3 | 3.90 | 3.78 |
| 割掛率* | ー | 1.21 | 1.17 |
*フラックス添加なし、プレス圧力:34.32 MPa(350 kgf/cm2)、1600℃×3hr焼成














