日本軽金属株式会社

化成品事業

開発品:低誘電損失セラミックス用アルミナ

開発品

低誘電損失セラミックス用アルミナ

日本軽金属が製造する低ソーダアルミナは、ソーダ成分を中心とした不純物制御と粒度設計により、低誘電損失と安定した電気絶縁性を追求した材料です。化学的安定性、機械的強度、耐熱性にも優れ、厳しい使用環境に対応します。
半導体製造装置部材、電子部品、各種機械部品に加え、高周波・プラズマ環境下で使用される絶縁部材に適しています。

代表値
品名LS-500BLS-530B
Na2O%0.010.01
SiO2%0.020.02
Fe2O3%0.020.02
Al2O3%99.999.9
BET比表面積m2/g6.04.1
平均粒径μm0.61.3
成形密度*g/cm32.192.33
見掛密度*g/cm33.913.80
焼結かさ密度*g/cm33.903.78
割掛率*1.211.17

*フラックス添加なし、プレス圧力:34.32 MPa(350 kgf/cm2)、1600℃×3hr焼成

ページトップに戻る